1、附着力 t型剥离（镀银 附着力 滚镀 挂镀） 由于质量和低速，附着力 t型剥离附近形成了带有负电荷阴极的鞘。在鞘层的加速作用下，阳离子与硅片表面垂直碰撞，加速了表面的化学反应和反应产物的脱离，从而产生高蚀刻速率。离子冲击还可以让各向异性刻蚀实现等离子剥离的原理，这与等离子刻蚀的原理是一致的。不同之处在于反应气体的类型和泵送等离子体的方法。与湿法...
